Dušikov trifluorid (NF3) plin visoke čistosti
Osnovne informacije
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Kaj je ta material?
Dušikov trifluorid (NF3) je plin brez barve in vonja pri sobni temperaturi in atmosferskem tlaku. Lahko se utekočini pod zmernim pritiskom. NF3 je stabilen v normalnih pogojih in se ne razgradi takoj. Lahko pa se razgradi, če je izpostavljen visokim temperaturam ali v prisotnosti določenih katalizatorjev. NF3 ima visok potencial globalnega segrevanja (GWP), ko se sprosti v ozračje.
Kje uporabiti ta material?
Čistilno sredstvo v elektronski industriji: NF3 se pogosto uporablja kot čistilno sredstvo za odstranjevanje ostankov onesnaževalcev, kot so oksidi, s površin polprevodnikov, plazemskih prikazovalnih plošč (PDP) in drugih elektronskih komponent. Te površine lahko učinkovito očisti, ne da bi jih poškodoval.
Plin za jedkanje pri izdelavi polprevodnikov: NF3 se uporablja kot plin za jedkanje v procesu izdelave polprevodnikov. Še posebej je učinkovit pri jedkanju silicijevega dioksida (SiO2) in silicijevega nitrida (Si3N4), ki sta pogosta materiala, ki se uporabljata pri izdelavi integriranih vezij.
Proizvodnja fluorovih spojin visoke čistosti: NF3 je dragocen vir fluora za proizvodnjo različnih spojin, ki vsebujejo fluor. Uporablja se kot predhodnik pri proizvodnji fluoropolimerov, fluoroogljikovodikov in posebnih kemikalij.
Ustvarjanje plazme pri proizvodnji ploskih zaslonov: NF3 se uporablja skupaj z drugimi plini za ustvarjanje plazme pri proizvodnji ploskih zaslonov, kot so zasloni s tekočimi kristali (LCD) in PDP. Plazma je bistvena pri postopkih nanašanja in jedkanja med izdelavo plošč.
Upoštevajte, da se posebne aplikacije in predpisi za uporabo tega materiala/izdelka lahko razlikujejo glede na državo, panogo in namen. Vedno upoštevajte varnostna navodila in se pred uporabo tega materiala/izdelka posvetujte s strokovnjakom.
